传统的超结结器件深槽外延制造工艺,由于其开关软度不够,容易出现开关振荡并引发电磁干扰(EMI)问题。安海半导体发明的超结产品具有专利技术的制程和器件结构设计,对多层外延工艺进行了优化,提升了器件开关的软度并改善了外延缺陷密度,解决了传统超结结的EMI和外延缺陷可靠性的问题,其高开关频率接近昂贵的GaN器件,而成熟的Si材料使得安海超结具备极高的可靠性。
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